Hva er kunnskapen om lagring og vedlikehold av legeringsmål

Målet er pakket i en dobbel vakuumplastpose.Vi anbefaler at brukere oppbevarer målet, enten det er metall eller keramikk, i vakuumemballasje, spesielt må bindemålet oppbevares i vakuum for å unngå at oksidasjon av bindingslaget påvirker bindingskvaliteten. Når det gjelder pakking av metallmål, insisterer vi på at minimumskravet er å pakke dem i rene plastposer.Nedenfor Beijing Richmat forfatter for å dele med deg om hva er legering mål lagring og vedlikehold ferdigheter

Vedlikeholdsferdigheter om legeringsmål er som følger:

For å unngå kortslutning og lysbue på grunn av urent hulrom i sputterprosessen, er det nødvendig å fjerne sputteringssporsenteret og begge sider av akkumuleringen av sputtering, noe som også hjelper brukerne til å fortsette til maksimal effekttetthet for sputtering.

Trinn 1: Rengjør med en fleecefri klut fuktet i aceton;

Trinn 2: Rengjør med alkohol tilsvarende trinn 1;

Trinn 3: Vask med avionisert vann.Etter rengjøring med avionisert vann, settes målet i en ovn for å tørke ved 100 grader Celsius i 30 minutter.Oksyd- og keramiske mål rengjøres med "flanellfri klut".

Trinn 4: etter å ha fjernet det støvete området, brukes argon med høyt trykk og lav fuktighetsgass for å spyle målet for å fjerne alle urenhetspartikler som kan danne buer i sputtersystemet.