Hva er polysilisiummål

Polysilisium er et viktig sputtermålmateriale.Ved å bruke magnetronforstøvningsmetoden for å forberede SiO2 og andre tynne filmer kan matrisematerialet få bedre optisk, dielektrisk og korrosjonsmotstand, som er mye brukt i berøringsskjerm, optisk og andre industrier.

Prosessen med å støpe lange krystaller er å realisere retningsbestemt størkning av flytende silisium fra bunnen til toppen gradvis ved nøyaktig å kontrollere temperaturen på varmeren i det varme feltet til støpeovnen og varmeavledningen til det termiske isolasjonsmaterialet, og størkningshastigheten for lange krystaller er 0,8 ~ 1,2 cm/t.Samtidig, i prosessen med retningsbestemt størkning, kan segregeringseffekten av metallelementer i silisiummaterialer realiseres, de fleste metallelementene kan renses, og en jevn polykrystallinsk silisiumkornstruktur kan dannes.

Støping av polysilisium må også dopes med hensikt i produksjonsprosessen for å endre konsentrasjonen av akseptorurenheter i silisiumsmelten.Hoveddopanten av p-type støpt polysilisium i industrien er silisiumbormasterlegering, hvor borinnholdet er omtrent 0,025%.Dopingmengden bestemmes av målresistiviteten til silisiumplaten.Den optimale resistiviteten er 0,02 ~ 0,05 Ω • cm, og den tilsvarende borkonsentrasjonen er omtrent 2 × 1014 cm-3。 Imidlertid er segregeringskoeffisienten for bor i silisium 0,8, noe som vil vise en viss segregeringseffekt i den retningsbestemte størkningsprosessen, dvs. er at borelementet er fordelt i en gradient i vertikal retning av barren, og resistiviteten avtar gradvis fra bunnen til toppen av blokken.