Vi vet alle at det er mange spesifikasjoner for sputteringsmål,som har awide bruksområde.Than mål varianter som vanligvis brukes i ulike bransjer er også forskjellige, i dag la oss komme med BeijingRichmat sammen for å lære om sputtering target bransjeklassifiseringen.
一,Definisjon av sputtermålmateriale
Sputtering er en av hovedteknologiene for fremstilling av tynnfilmmaterialer.Den bruker ionene generert av ionekilden til å danne ionestråle med høyhastighetsenergi gjennom akselerert aggregering i vakuum.Bombardert fast overflate, ioner og faste overflateatomer har kinetisk energiutveksling, slik at atomene på den faste overflaten forlater det faste stoffet og avsettes på substratoverflaten, det bombarderte faststoffet er råmaterialet for å forberede den sputterende avsatte filmen, kjent som sputtermålet.
二,Anvendelsesfeltklassifisering av sputtermålmaterialer
1、Halvledermål
(1)Ofte brukt materiale:Vanlige mål på dette feltet inkluderer tantal, kobber, titan, aluminium, gull, nikkel og andre metaller med høyt smeltepunkt.
(2)Bruk:I utgangspunktet brukes på de avgjørende originale dataene til integrert krets
(3)Funksjonelle krav:De tekniske kravene til renhet, størrelse, integrasjon er høye.
2,Målmateriale for plan visning
(1)Ofte brukt materiale:Mål som vanligvis brukes i dette feltet inkluderer aluminium/kobber/molybden/nikkel/niob/silisium/krom, etc.
(2)Bruk:Denne typen målmateriale brukes hovedsakelig i ulike typer filmer med stort område på TV og bærbare.
(3)Funksjonelle krav:Høye krav til renhet, stort areal, ensartethet og så videre.
3、Mål for solceller
(1)Ofte brukt materiale:Aluminium/kobber/molybden/krom/ITO/Ta-mål brukes ofte i solceller.
(2)Bruk:Hovedsakelig brukt i "vinduslag", barrierelag, elektrode og ledende film og andre anledninger.
(3)Funksjonelle krav:Høyt ferdighetskrav, bredt bruksområde.
4、Målmateriale for informasjonslagring
(1)Ofte brukt materiale:Informasjonslagring ofte brukte kobolt/nikkel/ferrolegering/krom/tellur/selen målmaterialer.
(2)Bruk:Målmaterialet her brukes hovedsakelig for hode, mellomlag og bunnlag på cd-rom og CD.
(3) Funksjonelle krav:Høy lagringstetthet og høy overføringshastighet er nødvendig.
5、Målmateriale for verktøymodifikasjon
(1)Ofte brukt materiale:Verktøymodifikasjon av titan/zirkonium/gitter/krom-aluminiumslegering og andre mål.
(2)Bruk:Det brukes vanligvis for å forbedre utseendet.
(3)Funksjonelle krav:Høye funksjonskrav, lang levetid.
6、Målmateriale for elektroniske enheter
(1)Ofte brukt materiale:Aluminiumslegering/silicidmål brukes ofte i elektroniske enheter
(2)Bruk:Vanligvis brukt til filmmotstander og kondensatorer.
(3)Funksjonelle krav:Liten størrelse, stabilitet, lav motstandstemperaturkoeffisient
Innleggstid: 21. april 2022