1、 Sputtering forberedelse
Det er veldig viktig å holde vakuumkammeret, spesielt sputtersystemet rent.Eventuelle rester dannet av smøreolje, støv og tidligere belegg vil samle opp vanndamp og andre forurensninger, noe som vil direkte påvirke vakuumgraden og øke muligheten for filmdannende feil.Kortslutning eller lysbue, ru filmoverflate og for høyt innhold av kjemiske urenheter er ofte forårsaket av urent sputterkammer, sputterpistol og mål.For å overholde sammensetningsegenskapene til belegget, er det nødvendig å rense og tørke sputtergassen (argon eller oksygen).Etter at underlaget er installert i sputterkammeret, må luften trekkes ut for å nå vakuumet som kreves av prosessen.Skjermingsdekselet i det mørke området, hulmuren og tilstøtende overflate må også holdes rent.Ved rengjøring av vakuumkammeret anbefaler vi bruk av kuleblåsing i glass for å behandle de støvete delene, sammen med trykkluft for å fjerne de tidlige sputterrestene rundt kammeret, og deretter polere den ytre overflaten rolig med aluminaimpregnert sandpapir.Etter polering av gasbindpapiret rengjøres det med alkohol, aceton og avionisert vann.Sammen tar det til orde for bruk av industristøvsuger for ekstra rengjøring.Målene produsert av Gaozhan metal er pakket i vakuumforseglede plastposer,
Innebygd fuktsikkert middel.Når du bruker målet, vennligst ikke berør målet direkte med hånden.Merk: når du bruker målet, vennligst bruk rene og lofrie vedlikeholdshansker.Berør aldri målet direkte med hendene
2、 Målrengjøring
Hensikten med målrengjøring er å fjerne støv eller skitt som kan finnes på overflaten av målet.
Metallmålet kan rengjøres i fire trinn,
Det første trinnet er å rengjøre med en lofri myk klut fuktet i aceton;
Det andre trinnet ligner på det første trinnet, rengjøring med alkohol;
Trinn 3: rengjør med avionisert vann.Etter vask med avionisert vann, plasser målet i ovnen og tørk det ved 100 ℃ i 30 minutter.
Rengjøring av oksid- og keramiske mål skal utføres med "lofri klut".
Det fjerde trinnet er å vaske målet med argon med høyt trykk og lavt vanngass etter å ha fjernet det støvete området, for å fjerne alle urenhetspartikler som kan danne buer i sputtersystemet
3、 Målenhet
I prosessen med målinstallasjon er Z viktige forholdsregler å sikre en god varmeledningsforbindelse mellom målet og kjøleveggen til sputterpistolen.Hvis forvrengningen av kjølestaven er alvorlig eller forvrengningen av bakplaten er alvorlig, vil målenheten sprekke eller bøye seg, og den termiske ledningsevnen fra bakmålet til målet vil bli sterkt påvirket, noe som resulterer i svikt i varmespredningen i sputterprosessen, og målet vil sprekke eller bomme
For å sikre den termiske ledningsevnen, kan et lag med grafittpapir polstres mellom katodekjøleveggen og målet.Vær oppmerksom på at du nøye kontrollerer og gjør klart flatheten til kjøleveggen til sputterpistolen som brukes for å sikre at O-ringen alltid er på plass.
Siden renheten til kjølevannet som brukes og støvet som kan oppstå under driften av utstyret vil bli avsatt i katodekjølevannstanken, er det nødvendig å sjekke og rengjøre katodekjølevannstanken når du installerer målet for å sikre jevn sirkulasjon av kjølevann og at innløp og utløp ikke vil blokkeres.
Noen katoder er planlagt å ha en liten plass med anoden, så når du installerer målet, er det nødvendig å sikre at det ikke er noen berøring eller leder mellom katoden og anoden, ellers vil det oppstå en kortslutning.
Se brukerhåndboken for utstyret for informasjon om hvordan du bruker målet riktig.Hvis det ikke er slik informasjon i brukerhåndboken, prøv å installere enheten i henhold til de relevante forslagene gitt av Gaozhan metal.Når du strammer målfestet, stram først en bolt for hånd, og stram deretter en annen bolt på diagonalen for hånd.Gjenta dette til alle boltene på enheten er strammet, og stram deretter til med noe.
4、 Kortslutning og tetthetsinspeksjon
Etter at målenheten er fullført, er det nødvendig å kontrollere kortslutningen og tettheten til hele katoden,
Det foreslås å avgjøre om det er kortslutning i katoden ved å bruke en motstandsmåler
Rekkediskriminering.Etter å ha bekreftet at det ikke er kortslutning i katoden, kan lekkasjedeteksjon utføres, og vann kan føres inn i katoden for å bekrefte om det er vannlekkasje.
5、 Mål før sputtering
Target pre sputtering forfekter ren argon sputtering, som kan rense overflaten til målet.Når målet er forhåndssprutet, anbefales det å sakte øke sputtereffekten, og kraftøkningshastigheten til det keramiske målet er 1,5 WH / cm2.Forsputteringshastigheten til metallmål kan være høyere enn for keramisk målblokk, og en rimelig kraftøkningshastighet er 1,5 WH / cm2.
I prosessen med pre-sputtering, må vi sjekke lysbuen til målet.Forforstøvningstiden er vanligvis ca. 10 minutter.Hvis det ikke er noe lysbue-fenomen, øk sputterkraften kontinuerlig
Til den innstilte kraften.Ifølge erfaring er den akseptable Z høye sputterkraften til metallmål
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 for keramisk mål.Vennligst se innstillingsgrunnlaget og opplevelsen av vakuumkammertrykk under sputtering i brukerens systembrukerhåndbok.Generelt bør det sikres at vanntemperaturen ved utløpet av kjølevann skal være lavere enn 35 ℃, men Z er det viktig å sikre at det sirkulerende systemet med kjølevann kan fungere effektivt
Den raske sirkulasjonen av superkjølende vann tar bort varme, noe som er en viktig garanti for å sikre kontinuerlig sputtering med høy effekt.For metallmål blir det generelt tatt til orde for at kjølevannsstrømmen er
20 lpm vanntrykk er omtrent 5 gmp;For keramiske mål anbefales det generelt at vannstrømmen er 30 lpm og vanntrykket er omtrent 9 gmp
6、 Målvedlikehold
For å forhindre kortslutning og buedannelse forårsaket av urent hulrom i sputterprosessen, er det nødvendig å fjerne sputteren som er akkumulert i midten og på begge sider av sputtersporet i trinn,
Dette hjelper også brukere til kontinuerlig sputter ved z høy effekttetthet
7、 Mållagring
Målene levert av Gaozhan metal er pakket i tolags vakuumplastposer.Vi anbefaler at brukerne holder målene, enten det er metall eller keramikk, i vakuumemballasje.Spesielt må bindingsmålene lagres under vakuumforhold for å forhindre at oksidasjonen av bindingslaget påvirker bindingskvaliteten.Når det gjelder pakking av metallmål, går vi inn for at Z skal pakkes i rene plastposer
Innleggstid: 13. mai 2022