Sputtering mål med baktavlebinding

Bindende ryggplateprosess:

1、 Hva er bindende bindende?Det refererer til å bruke lodde for å sveise målmaterialet til bakmålet.Det er tre hovedmetoder: krymping, lodding og ledende lim.Målbinding brukes ofte til lodding, og loddingsmaterialer inkluderer vanligvis In, Sn og In Sn.Vanligvis, når myke loddematerialer brukes, kreves det at sputtereffekten er mindre enn 20W/cm2.

2、 Hvorfor binde 1. Forhindre ujevn fragmentering av målmaterialer under oppvarming, slik som sprø mål som ITO, SiO2, keramikk og sintrede mål;2. Lagre * * * og forhindre deformasjon.Hvis målmaterialet er for dyrt, kan det gjøres tynnere og bindes til bakmålet for å forhindre deformasjon.

3、 Valg av ryggmål: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. bruker vanligvis oksygenfritt kobber med god ledningsevne, og den termiske ledningsevnen til oksygenfritt kobber er bedre enn rødt kobber;2. Tykkelsen er moderat, og det anbefales generelt å ha en bakmåltykkelse på ca. 3 mm.For tykk, bruker litt magnetisk styrke;For tynn, lett å deformere.

4、 Bindingsprosess 1. Forbehandle overflaten av målmaterialet og bakmålet før binding.2. Plasser målmaterialet og bakmålet på en loddeplattform og øk temperaturen til bindingstemperaturen.3. Metalliser målmaterialet og bakmålet.4. Fest målmaterialet og bakmålet.5. Avkjøling og etterbehandling.

5、 Forholdsregler for bruk av bundne mål: 1. Sputteringstemperaturen bør ikke være for høy.2. Strømmen bør økes sakte.3. Det sirkulerende kjølevannet bør være under 35 grader Celsius.4. Egnet måltetthet

6、 Årsaken til at bakplaten løsner er at sputtertemperaturen er høy, og bakmålet er utsatt for oksidasjon og vridning.Målmaterialet vil sprekke under sputtering ved høy temperatur, noe som får bakmålet til å løsne;2. Strømmen er for høy og varmeledningen er for rask, noe som fører til at temperaturen blir for høy og loddetinnet smelter, noe som resulterer i ujevn loddemasse og løsner bakmålet;3. Temperaturen på utløpet av det sirkulerende kjølevannet bør være lavere enn 35 grader Celsius, og den høye temperaturen på det sirkulerende vannet kan forårsake dårlig varmeavledning og løsrivelse;4. Tettheten til selve målmaterialet, når tettheten til målmaterialet er veldig høy, er det ikke lett å adsorbere, det er ingen hull, og bakmålet er lett å falle av.