Mange brukere vurderer ikke kjøp av mål fra et profesjonelt synspunkt, så hva bør man være oppmerksom på når man kjøper mål?La oss be Xiaobian fra Beijing Ruichi om å påpeke sakene som trenger oppmerksomhet ved kjøp av mål.
For det første, for målet, er renheten en av de viktigste funksjonelle indikatorene, og renheten til målet har stor innvirkning på funksjonen til den senere produktfilmen.Hvert produkt har også forskjellige krav til renheten til målet.
For det andre, urenhetsinnholdet i individuelle elementer i målet.Etter en serie med målbehandling er urenhetene i målfaststoffet og oksygen og vanndampen i porene de viktigste forurensningskildene til de avsatte filmene.På grunn av ulik bruk av mål er også kravene til ulikt urenhetsinnhold i mål med ulik bruk forskjellige.For eksempel har rene aluminiums- og aluminiumslegeringsmål som brukes i halvlederindustrien nå spesielle krav til innholdet av alkalimetaller og radioaktive grunnstoffer.
Tetthet er også en av de viktige ytelsesindeksene til målet. I den tekniske prosessen med målet, for å redusere porene i målfaststoffet og forbedre funksjonen til den sputterede filmen, kreves det generelt at målet har høy tetthet.Den viktigste karakteristiske tettheten til målet har stor innflytelse på sputterhastigheten, og påvirker de elektriske og optiske funksjonene til filmen.Jo høyere måltetthet, jo bedre funksjon har filmen.
Til slutt kornstørrelsen og kornfordelingen.Vanligvis er målmaterialet polykrystallinsk, og kornstørrelsen kan variere fra mikron til millimeter.For det samme målet er forstøvningshastigheten for finkornet mål høyere enn for grovkornet mål;Tykkelsen på filmene avsatt ved målsputtering med liten kornstørrelsesforskjell (uniform dispersjon) er mer jevn.
Innleggstid: Jun-10-2022