Forskning fremskritt i titan aluminiumslegering sputtering belegg målmaterialer

Titanaluminiumslegering er et legeringssprutmål for vakuumavsetning.Titan aluminiumslegeringsmål med forskjellige egenskaper kan oppnås ved å justere innholdet av titan og aluminium i denne legeringen.Titanaluminium intermetalliske forbindelser er harde og sprø materialer med god slitestyrke.De er belagt med et lag av titan-aluminium intermetalliske forbindelser på overflaten av vanlige skjæreverktøy, som effektivt kan forlenge levetiden til verktøyene.Hvis sputtering utføres med nitrogenutslippsbuestart, kan en overflateansiktsmaske med høy hardhet og lav friksjonskoeffisient oppnås, som er spesielt egnet for overflatebelegging av ulike verktøy, støpeformer og andre sårbare deler.Derfor har den gode bruksmuligheter i maskineringsindustrien.

Fremstillingen av mål av titan-aluminiumlegering er relativt vanskelig.I henhold til fasediagrammet for titan-aluminium-legering, kan forskjellige intermetalliske forbindelser dannes mellom titan og aluminium, noe som fører til prosesseringssprøhet i titan-aluminiumslegering.Spesielt når aluminiuminnholdet i legeringen overstiger 50 % (atomforhold), reduseres oksidasjonsmotstanden til legeringen plutselig og oksidasjonen er alvorlig.Samtidig kan den eksoterme ekspansjonen under legeringsprosessen lett generere bobler, krympeporer og porøsitet, noe som resulterer i høy porøsitet av legeringen og manglende evne til å møte tetthetskravene til målmaterialet.Det er to hovedmetoder for fremstilling av titan-aluminiumslegeringer:

1 、 Sterk strømoppvarmingsmetode

Denne metoden bruker en enhet som kan oppnå høy strøm, som varmer opp titanpulver og aluminiumspulver, påfører trykk og får aluminium og titan til å reagere for å danne mål av titan-aluminiumslegering.Tettheten til målproduktet av titan-aluminiumlegering fremstilt ved denne metoden er>99 %, og kornstørrelsen er ≤ 100 μm.Renhet >99%.Sammensetningsområdet for målmateriale av titan-aluminiumlegering er: titaninnhold på 5 % til 75 % (atomforhold), og resten er aluminiuminnhold.Denne metoden har lave kostnader og høy produkttetthet, og kan fullt ut oppfylle kravene til storskala industriell produksjon.

2、 Varm isostatisk pressende sintringsmetode

Denne metoden blander titanpulver og aluminiumspulver, gjennomgår deretter pulverlasting, kald isostatisk pressing forpressing, avgassingsprosess og deretter varm isostatisk pressing.Til slutt utføres sintring og prosessering for å oppnå mål av titan-aluminiumlegering.Titan-aluminiumlegeringsmålet fremstilt ved denne metoden har egenskapene til høy tetthet, ingen porer, ingen porøsitet og segregering, jevn sammensetning og fine korn.Den varme isostatiske pressemetoden er for tiden hovedmetoden for å lage sputtermål av titan-aluminiumlegering som kreves av beleggindustrien.