Vedlikeholdskunnskap om sputteringsmål

Mange venner om vedlikehold av målet er det mer eller mindre spørsmål, nylig er det også mange kunder konsultasjon om vedlikehold av mål relaterte problemer, la redaktør av RSM for oss å dele om sputtering mål vedlikehold kunnskap.

　　Hvordan skal sputtermål opprettholdes?

　　1、 Målvedlikehold

For å unngå kortslutning og lysbue forårsaket av urent hulrom i sputterprosessen, er det nødvendig å periodisk fjerne sputterene som er akkumulert i midten og på begge sider av sputtersporet, noe som også hjelper brukerne til kontinuerlig sputtering med høy effekttetthet.

　　2、 Mållagring

Vi anbefaler at brukere oppbevarer målet (enten det er metall eller keramikk) i vakuumemballasje, spesielt må tilpasningsmålet oppbevares i vakuum for å forhindre at oksidasjonen av tilpasningslaget påvirker tilpasningskvaliteten.Når det gjelder pakking av metallmål, foreslår vi at de i det minste pakkes i rene plastposer.

　　3、 Målrengjøring

Det første trinnet er å rengjøre med en lofri myk klut fuktet i aceton;

Det andre trinnet ligner på det første trinnet, rengjøring med alkohol;

Trinn 3: rengjør med avionisert vann.Etter rengjøring med avionisert vann, settes målet i ovnen og tørkes ved 100 ℃ i 30 minutter.Det anbefales å bruke "lofri klut" for å rengjøre oksid- og keramiske mål.

Det fjerde trinnet er å vaske målet med argon med høyt trykk og lav luftfuktighet for å fjerne eventuelle urene partikler som kan forårsake lysbue i sputtersystemet.

　　4、 Kortslutning og tetthetskontroll

Etter at målet er installert, må hele katoden kontrolleres for kortslutning og tetthet.Det anbefales å vurdere om det er kortslutning i katoden ved å bruke en motstandsmåler og en megger.Etter å ha bekreftet at det ikke er kortslutning i katoden, kan vannlekkasjeinspeksjon utføres, og vann kan føres inn i katoden for å avgjøre om det er vannlekkasje.

　　5、 Emballasje og transport

Alle målene er pakket i vakuumforseglede plastposer med fuktsikkert middel.Den ytre pakken er vanligvis en treboks med anti-kollisjonslag rundt for å beskytte målet og bakplanet mot skade under transport og lagring.