Sputterede molybdenmål har blitt mye brukt i elektronikkindustrien, solceller, glassbelegg og andre felt på grunn av deres iboende fordeler.Med den raske utviklingen av moderne teknologi innen miniatyrisering, integrasjon, digitalisering og intelligens, vil bruken av molybdenmål fortsette å øke, og kvalitetskravene til dem vil også bli stadig høyere.Så vi må finne måter å forbedre utnyttelsesgraden av molybdenmål.Nå vil redaktøren av RSM introdusere flere metoder for å forbedre utnyttelsesgraden av sputterende molybdenmål for alle
1. Legg til elektromagnetisk spole på baksiden
For å forbedre utnyttelsesgraden til det sputterede molybdenmålet, kan en elektromagnetisk spole legges til på baksiden av det plane Magnetron-forstøvningsmolybdenmålet, og magnetfeltet på overflaten av molybdenmålet kan økes ved å øke strømmen av den elektromagnetiske spolen, for å forbedre utnyttelsesgraden til molybdenmålet.
2. Velg rørformet roterende målmateriale
Sammenlignet med flate mål fremhever valg av en rørformet roterende målstruktur dets vesentlige fordeler.Generelt er utnyttelsesgraden for flate mål bare 30 % til 50 %, mens utnyttelsesgraden for rørformede roterende mål kan nå over 80 %.Videre, når du bruker det roterende hule røret Magnetron-forstøvningsmålet, siden målet kan rotere rundt den faste stangmagnetenheten hele tiden, vil det ikke være noen gjenavsetning på overflaten, så levetiden til det roterende målet er generelt mer enn 5 ganger lengre enn flymålet.
3. Erstatt med nytt sputterutstyr
Nøkkelen til å forbedre utnyttelsesgraden av målmaterialer er å fullføre utskiftingen av sputterutstyr.Under sputteringsprosessen av molybdenforstøvningsmålmateriale vil omtrent en sjettedel av sputteratomene avsettes på vakuumkammerveggen eller braketten etter å ha blitt truffet av hydrogenioner, noe som øker kostnadene for rengjøring av vakuumutstyret og nedetiden.Så utskifting av nytt forstøvningsutstyr kan også bidra til å forbedre utnyttelsesgraden til sputterende molybdenmål.
Innleggstid: 24. mai 2023