Hensikten med målrengjøring er å fjerne mulig støv eller smuss på overflaten av målet.Nå vil redaktøren av Rich Special Material Co., LTD.(RSM) dele med deg om de fire trinnene for å rense metallmål:
Det første trinnet er å rengjøre med en lofri myk klut fuktet i aceton;
Det andre trinnet ligner på det første trinnet, rengjøring med alkohol;
Trinn 3: rengjør med avionisert vann.Etter å ha blitt vasket med avionisert vann, plasseres målet i en ovn og tørkes ved 100 ℃ i 30 minutter.Oksyd- og keramikkmålene skal rengjøres med en "lofri klut".
Det fjerde trinnet er å vaske målet med argon med høyt trykk og lavt vanngass for å fjerne alle urenhetspartikler som kan danne en bue i sputtersystemet.
Merk: når du håndterer målet, vennligst bruk rene og lofrie vedlikeholdshansker for å unngå direkte kontakt med målet for hånd.
Innleggstid: 24. juni 2022