1. Magnetronforstøvningsmetode:
Magnetronsputtering kan deles inn i DC-sputtering, mellomfrekvenssputtering og RF-sputtering
A. DC sputtering strømforsyning er billig og tettheten av avsatt film er dårlig.Vanligvis brukes husholdningsfototermiske og tynnfilmsbatterier med lav energi, og sputtermålet er ledende metallmål.
B. RF-forstøvningsenergien er høy, og sputtermålet kan være ikke-ledende mål eller ledende mål.
C. Mellomfrekvent sputtermål kan være keramisk mål eller metallmål.
2. Klassifisering og anvendelse av sputtermål
Det finnes mange typer sputteringsmål, og målklassifiseringsmetodene er også forskjellige.I henhold til formen er de delt inn i langt mål, firkantet mål og rundt mål;I henhold til sammensetningen kan den deles inn i metallmål, legeringsmål og keramisk sammensatt mål;I henhold til forskjellige bruksområder kan den deles inn i halvlederrelaterte keramiske mål, opptaksmedium keramiske mål, display keramiske mål, etc. Sputtering-mål brukes hovedsakelig i elektroniske industrier og informasjonsindustrier, for eksempel informasjonslagringsindustrien.I denne industrien brukes sputtermål for å klargjøre relevante tynnfilmprodukter (harddisk, magnethode, optisk plate, etc.).Akkurat nå.Med den kontinuerlige utviklingen av informasjonsindustrien øker etterspørselen etter opptak av middels keramiske mål i markedet.Forskning og produksjon av opptaksmediemål har blitt gjenstand for omfattende oppmerksomhet.
Innleggstid: 11. mai 2022