For å støtte den filmbaserte piezoelektriske MEMS (pMEMS) sensor- og radiofrekvens (RF) filterkomponentindustrien, brukes aluminiumskandiumlegeringen produsert av Rich Special Material Co., Ltd. spesielt for reaktiv avsetning av skandiumdopte aluminiumnitridfilmer .
Tynnfilm piezoelektriske materialer brukes i økende grad i bilindustrien, industrielt og personlig elektronisk utstyr.Applikasjoner inkluderer pmt-baserte fingeravtrykksensorer og gestgjenkjenningsenheter, MEMS-mikrofoner, resonatorbaserte kjemiske sensorer og medisinske sensorer.I tillegg er det i økende grad behov for skandiumdopede aluminiumnitridfilmer for å realisere RF-filtre for 5G-nettverksapplikasjoner.Samtidig øker mengden av aluminiumsskandiumlegering.
Egenskaper til Al Sc Alloy
Svært konsistent kjemisk homogenitet gjennom hele legeringen
Svært konsistent filmkjemisk homogenitet gjennom hele levetiden til brikken og legeringen
Renhet>99,9%, lavt oksygeninnhold, lavt kritisk forurensningsinnhold
Kontroller mikrostrukturen strengt for å oppnå den beste sputterytelsen
Vakuumstøpt, fullt tett legering med lav vedheft, lav variasjon og lav granularitet
Rich Special Material Co., Ltd. støtter en rekke legeringssmelting, måltilpasning og FoU-tjenester.
Innleggstid: 11. november 2022