Teknisk konsulent for RSM vil dele med deg fordelene med sylindriske og plane magnetronforstøvningsmål?Sammenlignet med andre magnetronforstøvningsmål, beholder sylindriske og plane magnetronforstøvningsmål fordelene med god beleggsenhet for rektangulære plane mål, og kan maksimere utnyttelsen av målene på følgende to måter:
(1) Når de to gruppene (fire) av ringformede groper på overflaten av målet når en viss dybde, kan målkjernen (magnetdelen) roteres 45 ° i forhold til målrøret, slik at andre områder på målrøret som ikke er korrodert kan brukes;
(2) Når målkjernen til det sylindriske og plane magnetronforstøvningsmålet er utformet som en roterende målkjerne (målkjernen roterer under sputtering), kan overflaten av målet sputteres jevnt av lag for lag uten groper.På dette tidspunktet vil målet bli brukt mest effektivt, og utnyttelsesgraden til målet kan nå 50% ~ 60% Når målmaterialet er edelt metall, er dette åpenbart av stor betydning.
Ved å bruke prinsippet om magnet med polsko i koaksialt sylindrisk magnetronforstøvningsmål for å løse problemet med endemagnetisk felt, kan det rektangulære planmålet transformeres til et sylindrisk og plant magnetronforstøvningsmål, Målet kan maksimere utnyttelsesgraden til målet samtidig som den gode belegg-ensartetheten til det rektangulære planmålet opprettholdes, for å forbedre økonomiske fordeler.
Innleggstid: Jul-04-2022